放電手法制御によるプラズマプロセス精密制御機構の解明とその応用
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K03368 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 鎌滝 晋礼 |
| 採択時の代表者所属 | 九州大学 システム情報科学研究院 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60582658 |
| 科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |