近赤外光源を用いた斜入射干渉計によるきさげ表面微細形状の大面積精密三次元計測
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K03606 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 伊東 聡 |
| 採択時の代表者所属 | 富山県立大学 工学部 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00624818 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |