中赤外レーザーアシスト近接場光エッチング~化合物半導体の非接触超平坦化
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K03616 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 吉田 恭平 |
| 採択時の代表者所属 | 熊本県産業技術センター(ものづくり室、材料・地域資源室、食品加工室) その他部局等 研究員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60750453 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |