UVアシスト研磨における高濃度オゾン水供給の効果
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K03618 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 山口 桂司 |
| 採択時の代表者所属 | 京都工芸繊維大学 機械工学系 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00609282 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 11 （理化学/エネルギー・脱炭素） |