トライボプラズマを援用したダイヤモンド基板の高能率ドライエッチング法の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K03621 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 久保田 章亀 |
| 採択時の代表者所属 | 熊本大学 大学院先端科学研究部(工) 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 80404325 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 40 （材料工学） |