脱CO2を目指した誘導帯電技術を用いた新たな半導体デバイス製造プロセスの創出
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K03627 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 清家 善之 |
| 採択時の代表者所属 | 愛知工業大学 工学部 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70584069 |
| 科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |