SiC-MOS界面移動度の主劣化要因となる散乱体の物理的実体の解明

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科研費研究課題/領域番号 23K03928 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(C)
採択年度 2023
代表者氏名 畠山 哲夫
採択時の代表者所属 富山県立大学 工学部 教授
代表者の科研費研究者番号 90222215
科研費審査区分(中区分) 21 (電気電子工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 21 (電気電子工学)
分析データ クラスタ 27 (理化学/半導体・ナノ・材料)