構造敏感性をもつ半導体薄膜の歪分布マルチスケール可視化新手法の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K04599 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 山中 淳二 |
| 採択時の代表者所属 | 山梨大学 大学院総合研究部 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 20293441 |
| 科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |