大面積と高解像を両立した半導体結晶中の残留歪み定量評価手法の確立
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 23K04600 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2023 |
| 代表者氏名 | 福澤 理行 |
| 採択時の代表者所属 | 京都工芸繊維大学 情報工学・人間科学系 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60293990 |
| 科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |