プラズマ援用研磨プロセスによる単結晶GaN基板の高能率無歪加工
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K20410 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 研究活動スタート支援 |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 孫 栄硯 |
| 採択時の代表者所属 | 大阪大学 大学院工学研究科 助教 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 50963451 |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 18 （材料力学、生産工学、設計工学） |
| 分析データ クラスタ | 40 （材料工学） |