大気圧プラズマを用いた表面処理における活性種の表面反応計測およびモデリング

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科研費研究課題/領域番号 22K18789 [ KAKENで見る ]
種目 挑戦的研究(萌芽)
採択年度 2022
代表者氏名 小野 亮
採択時の代表者所属 東京大学 大学院新領域創成科学研究科 教授
代表者の科研費研究者番号 90323443
科研費審査区分(中区分) 21 (電気電子工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 14 (プラズマ学)
分析データ クラスタ 54 (理化学/分子化学)