干渉リソグラフィーを用いた単分散ナノ粒子生産用サブμm流路デバイスの実現
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22KJ1295 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 特別研究員奨励費 |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 増井 周造 |
| 採択時の代表者所属 | 東京工業大学 科学技術創成研究院 特別研究員(PD) |
| 代表者の科研費研究者番号 | 00909939 |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 19 （流体工学、熱工学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |