プラズマと薄膜表面形成過程の最適化による窒化ホウ素薄膜の広レンジ機能制御
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22KJ2022 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 特別研究員奨励費 |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 朝本 雄也 |
| 採択時の代表者所属 | 京都大学 工学研究科 特別研究員(DC1) |
| 代表者の科研費研究者番号 | - |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |