極薄膜半導体チャネルCMOSのキャリア輸送特性の解明と高移動度化手法の確立
詳細情報
科研費研究課題/領域番号 | 22H00208 [ KAKENで見る ] |
---|---|
種目 | 基盤研究(A) |
採択年度 | 2022 |
代表者氏名 | 高木 信一 |
採択時の代表者所属 | 東京大学 大学院工学系研究科(工学部) 教授 |
代表者の科研費研究者番号 | 30372402 |
科研費審査区分(中区分) | 21 (電気電子工学) |
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 21 (電気電子工学) |
分析データ クラスタ | 27 (理化学/半導体・ナノ・材料) |