熱リソグラフィーの体験型学生実験とデバイス電極作製への応用
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22H04220 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 奨励研究 |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 佐藤 健 |
| 採択時の代表者所属 | 東北大学 理学研究科 技術専門員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 90290692 |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 28 （ナノマイクロ科学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |
| 科研費研究課題/領域番号 | 22H04220 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 奨励研究 |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 佐藤 健 |
| 採択時の代表者所属 | 東北大学 理学研究科 技術専門員 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 90290692 |
| 科研費審査区分（中区分） | - |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 28 （ナノマイクロ科学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |