磁力による非接触駆動と可撓機構支持で高精度位置決めを達成する2軸微動装置の開発
詳細情報
科研費研究課題/領域番号 | 22K03863 [ KAKENで見る ] |
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種目 | 基盤研究(C) |
採択年度 | 2022 |
代表者氏名 | 田丸 雄摩 |
採択時の代表者所属 | 九州工業大学 大学院工学研究院 助教 |
代表者の科研費研究者番号 | 30284590 |
科研費審査区分(中区分) | 18 (材料力学、生産工学、設計工学) |
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 20 (機械力学、ロボティクス) |
分析データ クラスタ | 36 (熱・流体・波・運動エネルギー) |