ボールねじ駆動によるサブナノメートル分解能位置決めのための振動抑制手法の探求
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K03996 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 深田 茂生 |
| 採択時の代表者所属 | 信州大学 学術研究院工学系 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70156743 |
| 科研費審査区分（中区分） | 20 （機械力学、ロボティクス） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 20 （機械力学、ロボティクス） |
| 分析データ クラスタ | 36 （熱・流体・波・運動エネルギー） |