ヨウ化物を原料とするCVD法による金属薄膜の選択成長
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K04178 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 山内 智 |
| 採択時の代表者所属 | 茨城大学 理工学研究科(工学野) 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 30292478 |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |