次世代集積回路配線と液体/金属接面in-situ計測:どこまでわかりどう使うか?
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K04182 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 近藤 英一 |
| 採択時の代表者所属 | 山梨大学 大学院総合研究部 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70304871 |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |