真空紫外線照射を用いた超低磁気損失な磁性絶縁体の極微細パターン形成技術の開発
詳細情報
科研費研究課題/領域番号 | 22K04191 [ KAKENで見る ] |
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種目 | 基盤研究(C) |
採択年度 | 2022 |
代表者氏名 | 笠原 健司 |
採択時の代表者所属 | 福岡大学 理学部 助教 |
代表者の科研費研究者番号 | 00706864 |
科研費審査区分(中区分) | 21 (電気電子工学) |
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 21 (電気電子工学) |
分析データ クラスタ | 27 (理化学/半導体・ナノ・材料) |