回路線幅2nmノードを突破する半導体リソグラフィー露光プラズマ光源の高効率化
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K04213 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 大橋 隼人 |
| 採択時の代表者所属 | 富山大学 学術研究部教養教育学系 講師 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60596659 |
| 科研費審査区分（中区分） | 21 （電気電子工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 37 （電磁波・光学・レーザー・光半導体） |