プラズマイオンプレーティングによるサイアロン薄膜の作製とその特性の評価

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科研費研究課題/領域番号 22K04717 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(C)
採択年度 2022
代表者氏名 鈴木 裕
採択時の代表者所属 国立研究開発法人物質・材料研究機構 構造材料研究拠点 主任研究員
代表者の科研費研究者番号 20354350
科研費審査区分(中区分) 26 (材料工学)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 18 (材料力学、生産工学、設計工学)
分析データ クラスタ 40 (材料工学)