機能性酸化物単結晶育成用坩堝の低コスト・高強度化を達成するIr-Mo傾斜膜の開発
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K04720 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 佐藤 浩樹 |
| 採択時の代表者所属 | 東北大学 未来科学技術共同研究センター 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 80540947 |
| 科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |