原子状水素を用いたシリコン窒化薄膜のナノ欠陥制御と信頼性向上に関する研究
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K04743 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 三谷 祐一郎 |
| 採択時の代表者所属 | 東京都市大学 理工学部 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 60732641 |
| 科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |