レーザープラズマ極端紫外光による生体適合性材料の3次元高アスペクトマイクロ加工
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K04755 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 牧村 哲也 |
| 採択時の代表者所属 | 筑波大学 数理物質系 准教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 80261783 |
| 科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 14 （プラズマ学） |
| 分析データ クラスタ | 40 （材料工学） |