リモート式大気圧プラズマ法による硬質シリカ系薄膜の合成と物性解析
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K04781 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 鈴木 哲也 |
| 採択時の代表者所属 | 慶應義塾大学 理工学部(矢上) 教授 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 10286635 |
| 科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 26 （材料工学） |
| 分析データ クラスタ | 40 （材料工学） |