表面窒化無酸素Ti蒸着膜の活性化温度低下のメカニズムの解明

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科研費研究課題/領域番号 22K04937 [ KAKENで見る ]
種目 基盤研究(C)
採択年度 2022
代表者氏名 間瀬 一彦
採択時の代表者所属 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 教授
代表者の科研費研究者番号 40241244
科研費審査区分(中区分) 29 (応用物理物性)
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) 26 (材料工学)
分析データ クラスタ 11 (理化学/エネルギー・脱炭素)