表面窒化無酸素Ti蒸着膜の活性化温度低下のメカニズムの解明
詳細情報
科研費研究課題/領域番号 | 22K04937 [ KAKENで見る ] |
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種目 | 基盤研究(C) |
採択年度 | 2022 |
代表者氏名 | 間瀬 一彦 |
採択時の代表者所属 | 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 教授 |
代表者の科研費研究者番号 | 40241244 |
科研費審査区分(中区分) | 29 (応用物理物性) |
分析データ 推定科研費審査区分(中区分) | 26 (材料工学) |
分析データ クラスタ | 11 (理化学/エネルギー・脱炭素) |