瞬間剥離可能なGaAsエピ層の転位密度低減に向けた層状化合物中間層のステップ制御
詳細情報
| 科研費研究課題/領域番号 | 22K04957 [ KAKENで見る ] |
|---|---|
| 種目 | 基盤研究(C) |
| 採択年度 | 2022 |
| 代表者氏名 | 小島 信晃 |
| 採択時の代表者所属 | 豊田工業大学 工学(系)研究科(研究院) 講師 |
| 代表者の科研費研究者番号 | 70281491 |
| 科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ 推定科研費審査区分（中区分） | 30 （応用物理工学） |
| 分析データ クラスタ | 27 （理化学/半導体・ナノ・材料） |